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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

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admin
Wir beschreiben ein neuartiges Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren für die Herstellung von meMS-Geräten vom typanischen Typ, wie z. B. freistehende Ausleger, das auf der Verwendung von Mikroformen mit hohem Seitenverhältnis von SU8 und Aluminium als Opferschicht basiert. a) Schematische Darstellung der Keramik-MEMS-Auslegerfertigungssequenz auf Basis von SU-8 Mikroformen, b) Vollwafer (100-mm) Mikro-/Makroformen mit Opferschicht, c) Eine mikrozahnförmige Form, gefüllt...
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Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) eines Kieselsäure-/SU-8-Nanokompoposiats (50nm). Die Kieselsäure-Nanopartikel sind gut in die Epoxidmatrix dispergiert. Jiguet, S. ; Bertsch, A. ; Judelewicz, M. ; Hofmann, H. et al. Microelectronic Engineering, Vol. 83, 2006, S. 1966-1979 Volltext
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Die Verwendung von spannungsarmen SU8-Nanokompositen als funktionstüchtiges Material für Mikroteile und Beschichtungsanwendungen wird in diesem Papier beschrieben. Entwicklung mit der Zeit des Reibungskoeffizienten bei einer normalen Last von 2 N für Inox-Kugeln, B und M unterschiedliche Konzentration von Kieselsäurefüller in SU8. Jiguet, S ; Judelewicz, M ; Mischler, S ; Bertsch, A. et al. Microelectronic...
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Das wachsende Interesse an mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) hat die Anforderungen an photoresist-Materialien mit verbesserten Reibungs- und Verschleißeigenschaften für mechanisch belastete 3D-förmige Mikrostrukturen erhöht. Optische Bilder von Verschleißspuren, die von Stahlkugeln auf (a) SU8, b) SU8 nach Wärmebehandlung, (c) A-Verbundwerkstoff, (d) Verbundwerkstoff A nach Wärmebehandlung, (e) B-Verbundwerkstoff, (f) B-Verbundwerkstoff nach Wärmebehandlung hinterlassen werden. Der horizontale Rahmen...
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Schematischer Querschnitt des Fertigungsprozesses für horizontale Ebeneninduktivitäten in Quarzverpackungen. Leroy, Christine ; Pisani, Marcelo B. ; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier et al. Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006, 2006Présenté é: DTIP 2006, Stresa, Italien, April 2006. Volltext
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Für die direkte Photomusterung von Elektroden wurde ein leitfähiger Komposit-Photoresist entwickelt. Es basiert auf einer Dispersion von Silber-Nanopartikeln in SU8, einem nichtleitenden, negativ-tonigen Photoresist. Hergestellte Strukturen haben eine elektrische Förderfähigkeit bei einem niedrigen Silbergehalt von ca. 6 Vol.-%. Entwicklung des elektrischen Widerstands des SU8-Silberverbunds versus Silbervolumenfraktion vor und nach der thermischen Behandlung (Iso- Therm von...
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Die aktuelle These beschäftigt sich mit neuen zusammengesetzten Photoresisten für die Mikrofabrikationen UV-LIGA und Mikrostereolithographie. Jiguet, Sébastien ; Renaud Lausanne: EPFL, 2004. Volltext
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Das folgende Papier beschreibt ein Opferschichtverfahren zur Herstellung von mikrofluidischen Geräten in Polyimid und SU-8. Die Technik verwendet wärmedepolymerisierbare Polycarbonate, die in Polyimid oder SU-8 eingebettet sind, zur Erzeugung von Mikrokanälen und versiegelten Hohlräumen. Die flüchtigen Zersetzungsprodukte, die aus der Thermolyse des Opfermaterials stammen, entweichen durch Diffusion durch die Deckschicht aus dem Einbettmaterial. Der Herstellungsprozess...
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Dieses Papier beschreibt neue polymer-keramik-lichtempfindliche Harze, die im Mikrostereolithographie-Verfahren zur Herstellung komplexer 3D-Komponenten aus Verbundwerkstoffen verwendet werden können. Diese neuen Harze enthalten hohe Belastungen (bis zu 80 Gew.%) von Aluminiumoxid-Nanopartikeln, die als Füllstoffe in einem lichtempfindlichen Acrylatharz mit niedriger Viskosität verwendet werden. Mit dem von uns entwickelten Nanopulver-gefüllten Harz wurden verschiedene kleine Polymer-/Aluminiumoxid-Verbundkomponenten mit einer...
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Die Mikrostereolithographie ist eine Technik, die die Herstellung kleiner und komplexer dreidimensionaler (3D) Komponenten aus Kunststoff ermöglicht. Viele der mit dieser Technik hergestellten Komponenten sind zu klein und zu komplex, um durch Formteile repliziert zu werden, und folglich müssen die hergestellten Komponenten über ausreichende mechanische oder chemische Eigenschaften verfügen, um nützlich zu sein. Bisher beschränkte...
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