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Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Keramische Mikrokomponenten durch Mikrostereolithographie

Dieses Papier beschreibt neue polymer-keramik-lichtempfindliche Harze, die im Mikrostereolithographie-Verfahren zur Herstellung komplexer 3D-Komponenten aus Verbundwerkstoffen verwendet werden können. Diese neuen Harze enthalten hohe Belastungen (bis zu 80 Gew.%) von Aluminiumoxid-Nanopartikeln, die als Füllstoffe in einem lichtempfindlichen Acrylatharz mit niedriger Viskosität verwendet werden. Mit dem von uns entwickelten Nanopulver-gefüllten Harz wurden verschiedene kleine Polymer-/Aluminiumoxid-Verbundkomponenten mit einer realen geometrischen Komplexität mit kleinen Fertigungszeiten hergestellt. Bei Verwendung eines reaktiven Mediums, das einen ausreichend hohen Anteil an keramischen Nanopartikeln enthält, werden nach dem Entbindern und Sintern keine Verformungen oder Risse beobachtet, auch wenn während dieser Schritte eine gewisse Schrumpfung auftritt. Dieses Verfahren ermöglicht die Herstellung eines neuen Satzes von Mikrokomponenten aus keramischem Material, das für Hochtemperatur-Mikroreaktionstechnologien oder für die Herstellung neuer Komponenten im biomedizinischen Bereich von Interesse sein könnte.

Bertsch, A ; Jiguet, S ; Hofmann, H ; Renaud


MEMS 2004: 17. IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2004, S. 725-72
8 Présenté: 17. IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Maastricht, NETHERLANDS, JAN 25-29, 2004.

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