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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Wirkung des Füllverhaltens auf Nanokomposit SU8 Photoresist für bewegliche Mikroteile

Die Verwendung von spannungsarmen SU8-Nanokompositen als funktionstüchtiges Material für Mikroteile und Beschichtungsanwendungen wird in diesem Papier beschrieben.

Entwicklung mit der Zeit des Reibungskoeffizienten bei einer normalen Last von 2 N für Inox-Kugeln, B und M unterschiedliche Konzentration von Kieselsäurefüller in SU8.

Jiguet, S ; Judelewicz, M ; Mischler, S ; Bertsch, A. et al.

Microelectronic Engineering, Vol. 83, 2006, S. 1273-1276

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