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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Effet du comportement de remplissage sur le photoresist SU8 nanocomposite pour le déplacement des micro-pièces

L'utilisation de nanocomposites SU8 à faible stress comme matériau fonctionnel pour les micro-pièces et les applications de revêtement est décrite dans cet article

Évolution avec le temps du coefficient de frottement sous une charge normale de 2 N pour les boules Inox, B et M concentration différente de remplissage de silice dans SU8.

Jiguet, S; Judelewicz, M; Mischler, S; Bertsch, A. et coll.

Génie microélectronique, vol. 83, 2006, p. 1273-1276

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