Image de microscopie électronique de transmission (TEM) d'une microcoupe nanocomposite de silice/SU-8 (50nm). Les nanoparticules de silice sont bien dispersées dans la matrice époxy.
Jiguet, S. ; Bertsch, A. ; Judelewicz, M. ; Hofmann, H. et coll.
Génie microélectronique, vol. 83, 2006, p. 1966-1979
