Nous décrivons un nouveau processus de micromachinage de surface pour la fabrication des dispositifs meMS de type céramique, tels que les cantilevers autoportants, qui est basé sur l'utilisation des micromoules de rapport à haut aspect de SU8 et d'aluminium comme couche sacrificielle
Fakhfouri, V; Jiguet, S; Brugger, J
Advances in Science and Technology, vol. 45, 2006, p. 1293-1298
Présenté à: CIMTEC 2006 (11th International Conferences on Modern Materials and Technologies), Sicile, Italie, 4-9 juin 2006.