Nous décrivons un nouveau processus de micromachinage de surface pour la fabrication des dispositifs meMS de type céramique, tels que les cantilevers autoportants, qui est basé sur l'utilisation des micromoules de rapport à haut aspect de SU8 et d'aluminium comme couche sacrificielle a) Illustration schématique de la séquence de fabrication en porte-à-faux en céramique-MEMS basée...Continue Reading