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MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品
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6月 30, 2006
30
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30 6月 2006
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SU-8マイクロモールドを用いたポリウレアシラザン系セラミックMEMSの表面マイクロマチニング
SU8とアルミニウムの高アスペクト比マイクロモールドを犠牲層として使用した自立型片持ち装置など、セラミック型M...
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