Wir beschreiben ein neuartiges Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren für die Herstellung von meMS-Geräten vom typanischen Typ, wie z. B. freistehende Ausleger, das auf der Verwendung von Mikroformen mit hohem Seitenverhältnis von SU8 und Aluminium als Opferschicht basiert. a) Schematische Darstellung der Keramik-MEMS-Auslegerfertigungssequenz auf Basis von SU-8 Mikroformen, b) Vollwafer (100-mm) Mikro-/Makroformen mit Opferschicht, c) Eine mikrozahnförmige Form, gefüllt...Continue Reading