Plusieurs technologies de détection récentes développées pour des applications de physique des particules sont basées sur des structures microfabriquées. Les détecteurs construits avec cette approche présentent généralement les meilleures performances globales en termes de résolution spatiale et temporelle.
Des composites de nanotubes de carbone SU8 ont été produits pour améliorer les propriétés mécaniques, électriques et thermiques de photorésistants SU8. Les matériaux composites homogènes ont nanotubes de carbone à parois multiples (MWCNT) fonctionnalisé avec des groupes coOH ont été utilisés. En effet, COOH peuvent réagir avec l'anneau époxy de la molécule SU8 une meilleure interaction entre les nanotubes de carbone
(CNT) et la matrice de polymère. La spectroscopie d'impédance a été utilisé pour étudier la trajectoire de percolation dans les composites, c'est la qualité de la dispersion des nanotubes dans l'époxy matrice. Il s'avère que l'acétate d'éther de méthyle de propylène glycol (PGMEA) ainsi que le gamma-butyrolacton (GBL) sont très solvant approprié pour préparer des composites SU8-MWCNTs de bonne uniformité.
Des composites de nanotubes de carbone SU8 ont été produits pour améliorer les propriétés mécaniques, électriques et thermiques de photorésistants SU8. Les matériaux composites homogènes ont nanotubes de carbone à parois multiples (MWCNT) fonctionnalisé avec des groupes coOH ont été utilisés. En effet, COOH peuvent réagir avec l'anneau époxy de la molécule SU8 une meilleure interaction entre les nanotubes de carbone
(CNT) et la matrice de polymère. La spectroscopie d'impédance a été utilisé pour étudier la trajectoire de percolation dans les composites, c'est la qualité de la dispersion des nanotubes dans l'époxy matrice. Il s'avère que l'acétate d'éther de méthyle de propylène glycol (PGMEA) ainsi que le gamma-butyrolacton (GBL) sont très solvant approprié pour préparer des composites SU8-MWCNTs de bonne uniformité.
De nombreuses propriétés du su-8 photoepoxy le rendent approprié pour la fabrication de détecteurs de particules microstructurés. Cet article vise à passer en revue certaines technologies de détecteurs émergentes faisant usage de la microstructuration SU-8, à savoir les détecteurs de gaz de micromodèle et les détecteurs de scintillation microfluidique.
Marijana Mionic , Sbastien Jiguet, Moshe Judelewicz, Laszlo Forro, et Arnaud Magrez
Phys. Statut Solidi B 246, no 11-12, 2461-2464 (2009)