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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

SU8+碳纳米管复合材料的制备和表征

最近为粒子物理应用开发的几种探测器技术都基于微结构。采用这种方法构建的探测器在空间和时间分辨率方面通常表现出整体最佳性能。 

SU8_碳纳米管复合材料已经生产到 增强 SU8 光刻胶。均匀复合材料具有 当多壁碳纳米管 (MWCNT) 时获得 使用 COOH 组的功能。事实上,COOH 组可与SU8分子的环氧环发生反应 改善碳纳米管之间的相互作用

(CNT)和聚合物基质。阻抗光谱是 用于研究复合材料中的传导渗透路径, 即环氧树脂中纳米管分散的质量 矩阵。事实证明,丙二醇甲基乙醚醋酸酯 (PGMEA) 以及伽马-丁二醇(GBL) 非常 制备SU8-MWCNTs复合材料的合适溶剂 均匀。

SU8_碳纳米管复合材料已经生产到 增强 SU8 光刻胶。均匀复合材料具有 当多壁碳纳米管 (MWCNT) 时获得 使用 COOH 组的功能。事实上,COOH 组可与SU8分子的环氧环发生反应 改善碳纳米管之间的相互作用

(CNT)和聚合物基质。阻抗光谱是 用于研究复合材料中的传导渗透路径, 即环氧树脂中纳米管分散的质量 矩阵。事实证明,丙二醇甲基乙醚醋酸酯 (PGMEA) 以及伽马-丁二醇(GBL) 非常 制备SU8-MWCNTs复合材料的合适溶剂 均匀。

基于微结构的SU8_MWCNTs复合材料由标准紫外线光照猪-拉菲制备。

SU-8光环氧树脂的许多特性使其适用于微结构粒子探测器的制造。本文旨在回顾一些利用SU-8微结构的新兴探测器技术,即微模式气态探测器和微流体闪烁探测器。

玛丽娅娜·米奥尼奇、巴斯蒂安·吉盖、莫什·朱德莱维奇、拉斯洛·福罗和阿诺德·马格雷斯


Phys. 状态 Solidi B 246,11-12 号,2461~2464 (2009)