シリカ/SU-8ナノ複合マイクロカット(50nm)の透過電子顕微鏡(TEM)画像。シリカナノ粒子は、エポキシマトリックス中によく分散される。 ジゲット,S.バーツシュ, A. ;ジュデレヴィッチ, M. ;ホフマン、H. ら マイクロエレクトロニクス工学, vol. 83, 2006, p. 1966-1979 本文
