30 5月 2006

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5月 30, 2006

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30 5月 2006admin出版物

微細加工用途向け低応力特性を有するSU-8ナノコンポジットフォトレジスト

シリカ/SU-8ナノ複合マイクロカット(50nm)の透過電子顕微鏡(TEM)画像。シリカナノ粒子は、エポキシマ...

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30 5月 2006admin出版物

マイクロ部品を動かすナノコンポジットSU8フォトレジストに対する充填挙動の影響

マイクロ部品やコーティング用途の機能性材料としての低応力SU8ナノコンポジットの使用について本稿で述べる。 S...

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30 5月 2006admin出版物

MEMSのトライボロジー性能を向上させたSU-8ナノコンポジットコーティング

マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)への関心の高まりにより、機械的に装填された3D形状のマイクロ構...

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