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Gersteltec Engineering Solutions
MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品

MEMSのトライボロジー性能を向上させたSU-8ナノコンポジットコーティング

マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)への関心の高まりにより、機械的に装填された3D形状のマイクロ構造に対する摩擦性と摩耗特性が向上したフォトレジスト材料の要求が高まっています。

(a)SU8、(b)SU8上に鋼球によって残された摩耗跡の光学画像は、(c)A複合材料、(d)熱処理後の複合材料A、(e)B複合材料、(f)熱処理後のB複合材料である。各画像の水平フレームは0.6mmに対応しています。

ジゲット,S.ユデレビッチ, M. ;ミシュラー, S. ;ホフマン、H. ら

表面及びコーティング技術、vol.201、num。6, 2006, P. 2289-2295

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