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Gersteltec Engineering Solutions
MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品

マイクロ部品を動かすナノコンポジットSU8フォトレジストに対する充填挙動の影響

マイクロ部品やコーティング用途の機能性材料としての低応力SU8ナノコンポジットの使用について本稿で述べる。

SU8におけるシリカ充填剤の2N、BおよびMの異なる濃度の通常負荷下での摩擦係数の時間との進化。

ジゲ、S ;ジュデレヴィッチ、M ;ミシュラー、S ;バーツシュ、A. ら

マイクロエレクトロニクス工学, vol. 83, 2006, p. 1273-1276

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