マイクロ部品やコーティング用途の機能性材料としての低応力SU8ナノコンポジットの使用について本稿で述べる。 SU8におけるシリカ充填剤の2N、BおよびMの異なる濃度の通常負荷下での摩擦係数の時間との進化。 ジゲ、S ;ジュデレヴィッチ、M ;ミシュラー、S ;バーツシュ、A. ら マイクロエレクトロニクス工学, vol. 83, 2006, p. 1273-1276 本文