本文介绍了低应力SU8纳米复合材料作为微部件和涂层应用的功能材料 在SU8中,Inox球的摩擦系数在正常负荷为2N、B和M不同浓度的SU8下,摩擦系数随时间的演化。 吉盖, S ;朱德莱维奇, M ;米施勒, S ;贝尔奇等人 《微电子工程》,第83卷,2006年,第1273-1276页 全文
