二氧化硅/SU-8纳米复合微切(50nm)的透射电子显微镜(TEM)图像。二氧化硅纳米颗粒被很好地分散到环氧基质中。 吉格, S.贝尔施,A;朱德莱维奇, M.霍夫曼,H.等人 微电子工程,第83卷,2006年,第1966-1979页 全文
