Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) eines Kieselsäure-/SU-8-Nanokompoposiats (50nm). Die Kieselsäure-Nanopartikel sind gut in die Epoxidmatrix dispergiert.
Jiguet, S. ; Bertsch, A. ; Judelewicz, M. ; Hofmann, H. et al.
Microelectronic Engineering, Vol. 83, 2006, S. 1966-1979
