对微机电系统 (MEMS) 的兴趣日益增长,提高了对光刻材料的要求,提高了机械加载的 3D 形状微结构的摩擦和磨损性能 钢球留下的磨损痕迹的光学图像:(a) SU8,(b) 热处理后的SU8,(c) 复合材料,(d)热处理后的复合A,(e)B复合材料,(f)热处理后的B复合材料。每张图片的水平框架对应于 0.6 mm。 吉格, S.朱德莱维奇, M.米施勒, S.霍夫曼,H.等人 表面和涂料技术,第 201 卷,数字。2006年6月6日,第2289-2295页 全文
