石英封装中水平平面电感器制造工艺的原理横截面。 勒罗伊, 克里斯蒂娜 ;皮桑尼,马塞洛B;希伯特,西里尔;布维特、迪迪埃等人 2006年MEMS/MOEMS设计、测试、集成和包装专题讨论会会议记录,DTIP 2006,2006年Présent®:DTIP 2006,意大利斯特雷萨,2006年4月。 全文