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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Inducteurs de cuivre de haute qualité de facteur intégrés dans les substrats de quartz gravés secs profonds

Section transversale schématique du processus de fabrication pour les inducteurs de plan horizontaux dans le paquet de quartz.

Leroy, Christine ; Marcelo B. Pisani; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier et coll.


Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006, 2006
Présenté à: DTIP 2006, Stresa, Italie, avril 2006.

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