研制了用于电极直接光图案的导电复合光刻胶。它基于SU8中银纳米粒子的分散,这是一种非导电的负色调光阻器。制造结构具有电能,含银量低约6 vol.—%。 在热处理前后,SU8-银复合材料与银体积分数的电阻率演变(在120°C时为90分钟)。在渗透阈值(6 vol.–%)处观察到电阻率的剧烈开关,热处理后获得导电性。 吉盖,塞巴斯蒂安;贝尔施,阿诺德;霍夫曼,海因里希;勒诺, 菲利普 高级功能材料,数字。15, 2005, p. 1511-1516 全文
