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Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Composite Photopolymer Mikrostrukturen: Von planaren zu 3D-Geräten

In diesem Beitrag wird eine Untersuchung einiger Technologien durchgeführt, bei denen das fotodefinierbare Polymer als Strukturmaterial verwendet wird und bei denen physikalische Eigenschaften von Polymeren modifiziert werden, um Porosität, mechanische oder elektrische Eigenschaften zu verändern. Das Papier ist in drei Abschnitte gegliedert: a) 2D, mehrschichtige Photopolymere, (b) hohes Seitenverhältnis und (c) 3D-Mikrostereolithographie-Technologien. Darüber hinaus erwähnen die Autoren einige Entwicklungen, bei denen Die Photopolymerisation verwendet wird, um lokal spezielle Strukturen zu schaffen.

Renaud, P ; Metz, S ; Jiguet, S ; Bertsch, A


BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2, 2003, S. 991-
994Présenté: 12. Internationale Konferenz über Festkörpersensoren, Aktuatoren und Mikrosysteme, BOSTON, MASSACHUSETTS, JUN 09-12, 2003.

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