本論文では、光定義可能ポリマーを構造材料として使用し、ポリマーの物理的性質を変更して多孔性、機械的または電気的特性を変化させる技術を調査する。論文は、(a)2D、多層光ポリマー、(b)高アスペクト比、(c)3Dマイクロステレオリソグラフィー技術の3つのセクションで構成されています。さらに、著者らは、光重合が局所的に特別な構造を作成するために使用されるいくつかの開発に言及しています。
ルノー、P ;メッツ、S ;ジゲ、S ;ベルチュ、A
ボストントランスデューサーズ'03: テクニカルペーパーのダイジェスト, VOLS 1 AND 2, 2003
, p. 991-994Présenté à: 第12回固体センサ、アクチュエータおよびマイクロシステムに関する国際会議, ボストン, マサチューセッツ州, 6月09-12, 2003.