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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Microstructures composites de photopolymère : des dispositifs planaires aux dispositifs 3D

Dans cet article, une étude est faite de certaines technologies dans lesquelles le polymère photo-définissable est utilisé comme matériau structurel et où les propriétés physiques des polymères sont modifiées pour changer la porosité, les propriétés mécaniques ou électriques. L'article est organisé en trois sections : a) 2D, photopolymères multicouches, b) Ratio d'aspect élevé et (c) technologies de micro-stéréolithographie 3D. En outre, les auteurs mentionnent un certain développement dans lequel la photo-polymérisation est utilisée pour créer localement des structures spéciales.

Renaud, P; Metz, S ; Jiguet, S; Bertsch, A


BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 ET 2, 2003, p. 991-994
Présenté à: 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, BOSTON, MASSACHUSETTS, JUN 09-12, 2003.

Texte intégral