出版物 - Part 3

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5月

本文介绍了低应力SU8纳米复合材料作为微部件和涂层应用的功能材料在SU8中,Inox球的摩擦系数在正常负荷为...

5月

对微机电系统 (MEMS) 的兴趣日益增长,提高了对光刻材料的要求,提高了机械加载的 3D 形状微结构的摩擦和...

4月

石英封装中水平平面电感器制造工艺的原理横截面。勒罗伊, 克里斯蒂娜 ;皮桑尼,马塞洛B;希伯特,西里尔;布维...

5月

研制了用于电极直接光图案的导电复合光刻胶。它基于SU8中银纳米粒子的分散,这是一种非导电的负色调光阻器。制造结...

5月

本文涉及UV-LIGA和微立体光刻微加工工艺的新复合光刻胶。吉盖,塞巴斯蒂安;勒诺, 菲利普洛桑:EPFL...

5月

本文介绍了聚酰亚胺和SU-8中微流体器件的制造牺牲层方法。该技术使用嵌入聚酰亚胺或 SU-8 中的热除聚合聚碳...

5月

本文介绍了可用于微立体光刻工艺中制造复合材料复杂3D成分的新型聚合物/陶瓷感光树脂。这些新树脂含有高负载(高达...

5月

微立体光刻是一种允许在塑料材料中制造小型和复杂的三维 (3D) 组件的技术。这种技术产生的许多部件太小,太复杂...

5月

复合材料具有多种用途,单靠金属、陶瓷或聚合物是无法获得的。特别是,在绝缘聚合物基质中导电相(金属或无机粉末或导...

1月

一种新型导电感光复合电阻已经形成,并用于制造微元件。这种复合材料基于SU-8光聚合物,一种绝缘负色调光阻,其中...

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