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填充物行为对移动微部件纳米复合SU8光刻胶的影响

本文介绍了低应力SU8纳米复合材料作为微...

SU-8 纳米复合涂层,具有改进的 MEMS 摩擦性能

对微机电系统 (MEMS) 的兴趣日益增...

集成在深干蚀刻石英基板中的高质量因子铜电感器

石英封装中水平平面电感器制造工艺的原理横...

用于微加工的导电SU8光阻

研制了用于电极直接光图案的导电复合光刻胶...

使用 UV-LIGA 和微立体光刻对功能 3D 和高外形复合对象的微制造

本文涉及UV-LIGA和微立体光刻微加工...

聚酰亚胺和SU-8微流体装置,采用热脱聚牺牲材料技术制造

本文介绍了聚酰亚胺和SU-8中微流体器件...

通过微立体光刻的陶瓷微元件

本文介绍了可用于微立体光刻工艺中制造复合...

通过微立体光刻对陶瓷部件进行微加工

微立体光刻是一种允许在塑料材料中制造小型...

SU8-银感感纳米复合材料

复合材料具有多种用途,单靠金属、陶瓷或聚...

导电SU8-银复合光聚合物

一种新型导电感光复合电阻已经形成,并用于...

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