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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

SU-8 als Material für mikrofabrizierte Teilchenphysikdetektoren

Mehrere neuere Detektortechnologien, die für Anwendungen in der Teilchenphysik entwickelt wurden, basieren auf mikrofabrizierten Strukturen. Detektoren, die mit diesem Ansatz erstellt wurden, weisen in der Regel die insgesamt beste Leistung in Bezug auf räumliche und zeitliche Auflösung auf. 

Viele Eigenschaften des SU-8 Photoepoxy machen es für die Herstellung von mikrostrukturierten Partikeldetektoren geeignet. Dieser Artikel zielt darauf ab, einige neue Detektortechnologien zu überprüfen, die SU-8 Mikrostrukturierung nutzen, nämlich mikromustergasförmige Detektoren und mikrofluidische Szintillationsdetektoren.


Pietro Maoddi , Alessandro Mapelli, Sebastien Jiguet und Philippe Renaud


Mikromaschinen 2014, 5(3), 594-606

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