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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Neuartiger SU-8/Ionic Liquid Composite für tribologische Beschichtung und MEMS

Die Tribologie des SU-8-Polymers wird aufgrund des bersten Einsatzes dieses Materials in einer Vielzahl von Anwendungen immer relevanter. Diese Studie zielt auf die Einführung und Untersuchung eines neuartigen selbstschmierenden Verbunds einer ionischen Flüssigkeit (IL)vin SU-8 ab. Das neue Material kann für die Facrikierung von Schmierpolymerbeschichtungen mit abstimmbaren Oberflächeneigenschaften oder SU8-gefertigten Elementen für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) mit verbesserter tribologischer Leistung verwendet werden.

Optische 3D-Mikrographien von Verschleißspuren nach 1800 Zyklen von (a) SU8, (b) SU-8 + 4 Gew. % IL und (c) SU-8 + 10 Gew.


Leili Batooli, Sandra Guadalupe Maldonado, Moshe Judelewicz und Stefano Mischler


Mikromaschinen 2015, 6.611-621

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