Plusieurs technologies de détection récentes développées pour des applications de physique des particules sont basées sur des structures microfabriquées. Les détecteurs construits avec cette approche présentent généralement les meilleures performances globales en termes de résolution spatiale et temporelle.
De nombreuses propriétés du su-8 photoepoxy le rendent approprié pour la fabrication de détecteurs de particules microstructurés. Cet article vise à passer en revue certaines technologies de détecteurs émergentes faisant usage de la microstructuration SU-8, à savoir les détecteurs de gaz de micromodèle et les détecteurs de scintillation microfluidique.
Pietro Maoddi , Alessandro Mapelli, Sebastien Jiguet et Philippe Renaud
Micromachines 2014, 5(3), 594-606