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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

SU-8 作为微加工粒子物理探测器的材料

最近为粒子物理应用开发的几种探测器技术都基于微结构。采用这种方法构建的探测器在空间和时间分辨率方面通常表现出整体最佳性能。 

SU-8光环氧树脂的许多特性使其适用于微结构粒子探测器的制造。本文旨在回顾一些利用SU-8微结构的新兴探测器技术,即微模式气态探测器和微流体闪烁探测器。


彼得罗·莫迪、亚历山德罗·马佩利、塞巴斯蒂安·吉盖和菲利普·雷纳


微型机器 2014, 5(3), 594-606

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