Zur Verbesserung der mechanischen Eigenschaften von SU8-Photoresist wurden neue Ultiwalled Carbon Nanotubes (MWCNTs)/SU8-Verbundwerkstoffe hergestellt. TEM (links) und HRSEM (rechts) Mikrographien eines reprä- sentativen Verbunds, die eine gute Dispersion von MWCNTs aufweisen. Marijana Mionic, Sebastien Jiguet, Moshe Judelewicz, Ayat Karimi, Laszlo Forro und Arnaud Magrez Phys. Status Solidi B, 1-4 (2010)Continue Reading
Dieser Beitrag stellt die Studie eines neuartigen Szintillationsdetektors auf der Grundlage von Standard-Mikrofabrikationstechniken vor. Herstellung von SU-8 Mikrokanälen Mapelli, A. ; Gorini, B. ; Haguenauer, M. ; Jiguet, Sébastien et al. Présenté: Konferenz Eurosensors XXIII, Lausanne, Schweiz, 6.-9. September 2009 Procedia Chemistry, Bd. 1, num. 1, 2009, S. 1347-1350 VolltextContinue Reading
Mit Standard-Mikroherstellungstechniken wird ein neuartiger Flüssigszintillationsdetektor mit hoher räumlicher Auflösung entwickelt. Es besteht aus einer dichten Reihe von schillernden Wellenleitern, die durch Füllen mikrofluidischer Kanäle mit einem organischen flüssigen Szintillator gewonnen und optisch an einen pixelförmigen Photodetektor gekoppelt sind. Ein solches mikrofluidisches Gerät kann so konzipiert und verarbeitet werden, dass es den Anforderungen einer Vielzahl...Continue Reading
Mehrere neuere Detektortechnologien, die für Anwendungen in der Teilchenphysik entwickelt wurden, basieren auf mikrofabrizierten Strukturen. Detektoren, die mit diesem Ansatz erstellt wurden, weisen in der Regel die insgesamt beste Leistung in Bezug auf räumliche und zeitliche Auflösung auf. SU8-Kohlenstoff-Nanoröhren-Verbundwerkstoffe wurden hergestellt, um die mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften SU8 photoresists. Homogene Verbundwerkstoffe haben wurde bei...Continue Reading
Wir beschreiben ein neuartiges Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren für die Herstellung von meMS-Geräten vom typanischen Typ, wie z. B. freistehende Ausleger, das auf der Verwendung von Mikroformen mit hohem Seitenverhältnis von SU8 und Aluminium als Opferschicht basiert. a) Schematische Darstellung der Keramik-MEMS-Auslegerfertigungssequenz auf Basis von SU-8 Mikroformen, b) Vollwafer (100-mm) Mikro-/Makroformen mit Opferschicht, c) Eine mikrozahnförmige Form, gefüllt...Continue Reading
Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) eines Kieselsäure-/SU-8-Nanokompoposiats (50nm). Die Kieselsäure-Nanopartikel sind gut in die Epoxidmatrix dispergiert. Jiguet, S. ; Bertsch, A. ; Judelewicz, M. ; Hofmann, H. et al. Microelectronic Engineering, Vol. 83, 2006, S. 1966-1979 VolltextContinue Reading
Die Verwendung von spannungsarmen SU8-Nanokompositen als funktionstüchtiges Material für Mikroteile und Beschichtungsanwendungen wird in diesem Papier beschrieben. Entwicklung mit der Zeit des Reibungskoeffizienten bei einer normalen Last von 2 N für Inox-Kugeln, B und M unterschiedliche Konzentration von Kieselsäurefüller in SU8. Jiguet, S ; Judelewicz, M ; Mischler, S ; Bertsch, A. et al. Microelectronic...Continue Reading
