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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Untersuchung der mechanischen Reaktion von Kohlenstoff-Nanoröhren-SU8-Verbundwerkstoffen durch Nanoindentation

Zur Verbesserung der mechanischen Eigenschaften von SU8-Photoresist wurden neue Ultiwalled Carbon Nanotubes (MWCNTs)/SU8-Verbundwerkstoffe hergestellt.

TEM (links) und HRSEM (rechts) Mikrographien eines reprä- sentativen Verbunds, die eine gute Dispersion von MWCNTs aufweisen.

Marijana Mionic, Sebastien Jiguet, Moshe Judelewicz, Ayat Karimi, Laszlo Forro und Arnaud Magrez


Phys. Status Solidi B, 1-4 (2010)