Ein neuer elektrisch leitfähiger lichtempfindlicher Verbundwiderstand wurde formuliert und zum Bau von Mikrokomponenten verwendet. Dieser Verbundwerkstoff basiert auf dem SU-8 Photopolymer, einem isolierenden Negativton-Photoresist, bei dem Silber-Nanopartikel dispergiert wurden, um die elektrischen Eigenschaften des Polymers zu verbessern. Die Eigenschaften dieses neuen lichtempfindlichen Verbundwerkstoffs sind durch optische und elektrische Messungen gekennzeichnet. Die gemusterten Verbundstrukturen können für einen breiten Bereich von Werten der elektrischen Leitfähigkeit erhalten werden, indem der Pulvervolumenanteil des Verbundwerkstoffs variiert wird. Die seitliche Auflösung der produzierten Strukturen wurde ausgewertet und kann je nach Denmusterungsbedingungen besser als 5 /spl mu/m sein.
Jiguet, S ; Bertsch, A ; Hofmann, H ; Renaud
MEMS 2004: 17. IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2004, S. 125-12
8 Présenté: 17. IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Maastricht, NETHERLANDS, JAN 25-29, 2004.