Switzerland
Switzerland
info@gersteltec.ch +41 (0)79 564 34 23 General-Guisan 26, 1009 Pully, Switzerland CH
enfrdezhja
Switzerland
Switzerland
info@gersteltec.ch +41 (0)79 564 34 23 General-Guisan 26, 1009 Pully, Switzerland CH
enfrdezhja
Gersteltec Engineering Solutions
MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品

導電性SU8銀複合光ポリマー

新しい導電性光感受性複合抵抗が策定され、マイクロコンポーネントを構築するために使用されました。この複合材料は、絶縁性マイナストーンフォトレジストであるSU-8フォトポリマーに基づいており、銀ナノ粒子がポリマーの電気的特性を高めるために分散されている。この新しい感光性複合材料の特性は、光学および電気的測定によって特徴付けられてきた。パターン化された複合構造は、複合材料の粉末体積分率を変化させることにより、電気伝導性の広い範囲の値について得ることができる。生成された構造の横分解能を評価し、パターニング条件に応じて、5 /spl μ/mよりも優れている場合があります。

ジゲ、S ;バーツシュ、A ;ホフマン, H ;ルノー、P


MEMS 2004: 第17回 IEEE国際会議 マイクロエレクトロメカニカルシステムに関する国際会議, テクニカルダイジェスト, 2004, p. 1
25-128 Présenté à: 第17回 IEEE マイクロエレクトロ機械システムに関する国際会議, マーストリヒト, オランダ, 2004年1月25-29日.

本文