Gemusterte Farbfilter-Arrays sind wichtige Komponenten in Digitalkameras, Camcordern, Scannern und multispektralen Erkennungs- und Bildgebungsinstrumenten. Neben den schnellen und kontinuierlichen Fortschritten zur Verbesserung der Kameraresolu- tion und der Effizienz von Bildsensoren ist die Forschung in der Konstruktion von Farbfilter-Arrays wichtig, um die Bildgebungsfähigkeit über herkömmliche Anwendungen hinaus zu erweitern. Dieses Papier berichtet über die Verwendung von farbigen SU-8 Photoresists als Material zur Herstellung von Farbfilter-Arrays.
Optische Eigenschaften, Fertigungsparameter und räumliche Musterauflösung werden systematisch für fünf Farbphotoresiste untersucht: Violett, Blau, Grün, Gelb und Rot. Ein End-to-End-Fertigungsverfahren wurde entwickelt, um ein fünffarbiges Filterarray zu realisieren, das für ein Weitwinkel-Multiband-Künstliches Augenkamerasystem für pentachromatische und Polarisations-Bildgebung entwickelt wurde. Farbige SU-8-Photowiderstände bieten bemerkenswerte Vorteile, einschließlich Bemusterbarkeit, Farbtunabilität, Niedertemperaturkompatibilität und Prozesseinfachheit. Die Ergebnisse bezüglich der optischen Eigenschaften und des Herstellungsprozesses für einen farbigen SU-8 Photoresist geben einen signifikanten Einblick in seine Verwendung als optisches Material zur Untersuchung unkonventioneller Farbfilterdesigns.
Linan Jiang, Kyung-Jo Kim, Fracis M. Reininger, Sebastien, Jiguet und Stanly Pau
Journal 2020 Optical Society of America