パターンカラーフィルタアレイは、デジタルカメラ、ビデオカメラ、スキャナ、マルチスペクトル検出およびイメージング機器の重要なコンポーネントです。カメラの再生とイメージングセンサの効率を向上させるための急速かつ継続的な進歩に加えて、カラーフィルタアレイの設計に関する研究は、従来のアプリケーションを超えてイメージング機能を拡張するために重要です。本論文では、カラーフィルタアレイを作製する材料として色付きSU-8フォトレジストを用いることを報告する。
光学特性、製作パラメータ、パターン空間分解能は、紫色、青、緑、黄、赤の5つのカラーフォトレジストについて体系的に研究されています。ペンタクロマティックおよび偏光イメージング用の広角マルチバンド人工複合眼カメラシステム用に設計された5色のフィルタアレイを実現するために、エンドツーエンドの製造プロセスが開発されています。着色されたSU-8フォトレジストは、パターン性、色のタンナビリティ、低温適合性、およびプロセスの簡易性を含む顕著なアドバン-テージを提示する。着色されたSU-8フォトレジストの光学特性および製造プロセスに関する結果は、非従来型カラーフィルタ設計を調査するための光学材料としての使用に関する重要な洞察を提供する。
リナ・ジアン、キム・キョンジョ、フラシス・M・ライナーガー、セバスチャン、ジゲ、スタンリー・ポー
ジャーナル2020アメリカ光学学会