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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Microfabrication d’un tableau de filtre de couleur utilisant des photorésistes colorés SU-8

Les tableaux de filtres à motifs sont des composants importants dans les appareils photo numériques, les caméscopes, les scanners et les instruments de détection et d’imagerie multispectral. En plus des progrès rapides et continus pour améliorer la résolution de la caméra et l’efficacité des capteurs d’imagerie, la recherche sur la conception de tableaux de filtres de couleur est importante pour étendre la capacité d’imagerie au-delà des applications conventionnelles. Cet article rapporte l’utilisation de photorésistes SU-8 colorés comme matériau pour fabriquer des tableaux de filtres de couleur.

Les propriétés optiques, les paramètres de fabrication et la résolution spatiale des motifs sont systématiquement étudiés pour cinq photorésistes de couleur : violet, bleu, vert, jaune et rouge. Un processus de fabrication de bout en bout est développé pour réaliser un réseau de filtres cinq couleurs conçu pour un système de caméra artificielle à bande large composé composé pour l’imagerie pentachromatique et la polarisation. Les photorésistes colorés su-8 présentent des advan-tages notables, y compris la patternabilité, la thonilité de couleur, la compatibilité à basse température, et la simplicité de processus. Les résultats concernant les propriétés optiques et le processus de fabrication d’un photorésiste coloré SU-8 fournissent un aperçu significatif de son utilisation comme matériau optique pour étudier les conceptions non conventionnelles de filtre de couleur. 


Linan Jiang, Kyung-Jo Kim, Fracis M. Reininger, Sebastien, Jiguet et Stanly Pau


Journal 2020 Optical Society of America 

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