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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Polyimid schaumartige Mikrostrukturen: Technologie und mechanische Eigenschaften

Wir berichten über ein Verfahren zur Realisierung von Polyimidfolien mit speziell entwickelter Mikroporosität basierend auf der wärmeinduzierten Depolymerisation von Polyimid-eingebetteten Polypropylencarbonat-Mikrostrukturen.

SEM-Querschnittsansichten von hergestellten Arrays von Mikrokavitäten in einer PI-Schicht: (a) 30 m breite Hohlräume; b) 80 m breite Hohlräume; c) PI-Schichtstapel, der zwei Hohlräume umfasst; d) einen Zoom in den rechteckigen Bereich des Bildes oben; e) einen 150 m breiten Kanal mit einem Seitenverhältnis von 15:1. Alle Skalenstäbe, die 100 m entsprechen.

J A Dobrzynska1,3,4, P Joris1,4, S Jiguet2, P Renaud1 und MAM Gijs, J. Micromech.


Microeng. 21 (2011)