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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

聚酰亚胺泡沫样微结构:技术和机械性能

我们报道了基于聚酰亚胺嵌入聚丙烯碳酸盐微观结构热诱导的去聚合,实现具有定制设计的微孔的聚酰亚胺薄膜的过程。

PI 层中微腔的制造阵列的 SEM 横截面视图:(a) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽空隙;(c) 30 μm 宽(b) 80 μm宽空隙;(c) PI层堆栈,包括两个级别的腔体;(d) 放大图的长方形区域;(e) 宽 150 μm 宽的通道,纵横比为 15:1。所有比例尺对应于 100 μm。

J A 多布津斯卡1,3,4,P乔里斯1,4,S吉格特2,P雷纳德1和MAMGijs,J.微梅奇。


微能。21 (2011)