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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Microstructures en mousse polyimide : technologie et propriétés mécaniques

Nous rapportons un processus pour la réalisation des films de polyimide avec la microporosity faite sur commande basée sur la dépolymérisation induite par la chaleur des microstructures polypropylène-incorporées de polypropylène de carbonate.

Vues transversales SEM de tableaux fabriqués de microcavités dans une couche PI : a) 30 m de large vides; b) des vides de 80 m de large; c) pile de couches PI englobant deux niveaux de cavités; d) un zoom sur la zone rectangulaire de l'image ci-dessus; e) un canal de 150 m de large avec un rapport d'aspect de 15:1. Toutes les barres d'échelle correspondant à 100 m.

J A Dobrzynska1,3,4, P Joris1,4, S Jiguet2, P Renaud1 et MAM Gijs, J. Micromech.


Du microeng. 21 (2011)