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Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Publikationen

Mikrostereolithographie: ein Rückblick

Microstereolithography ist eine Technologie an der Schnittstelle der Microengineering- und Rapid Prototyping-Domains. Es hat sich aus der Stereolithographie-Technik entwickelt, und...
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Composite Photopolymer Mikrostrukturen: Von planaren zu 3D-Geräten

In diesem Beitrag wird eine Untersuchung einiger Technologien durchgeführt, bei denen das fotodefinierbare Polymer als Strukturmaterial verwendet wird und bei...
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