Schematischer Querschnitt des Fertigungsprozesses für horizontale Ebeneninduktivitäten in Quarzverpackungen. Leroy, Christine ; Pisani, Marcelo B. ; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier et al. Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006, 2006Présenté é: DTIP 2006, Stresa, Italien, April 2006. VolltextContinue Reading