Section transversale schématique du processus de fabrication pour les inducteurs de plan horizontaux dans le paquet de quartz. Leroy, Christine ; Marcelo B. Pisani; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier et coll. Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006, 2006Présenté à: DTIP 2006, Stresa, Italie, avril...Continue Reading