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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

利用彩色SU-8光师对彩色滤光片阵列进行微制造

图案彩色滤光片阵列是数码相机、摄像机、扫描仪以及多光谱检测和成像仪器中的重要组件。除了在提高摄像机性能和效率方面取得快速和持续的进展外,对彩色滤光片阵列设计的研究对于将成像能力扩展到传统应用之外也非常重要。本文报道了使用彩色SU-8光光师作为制造彩色滤光片阵列的材料。

对五种颜色光印的光特性、制造参数和图案空间分辨率进行了系统研究:紫罗兰色、蓝色、绿色色、黄色和红色。开发了端到端制造工艺,以实现为用于五角体和极化成像的广角多波段人工复合眼像系统设计的五色滤光阵列。彩色 SU-8 光测量师具有明显的辅助标记,包括图案性、色彩可调性、低温兼容性和工艺简单性。有关彩色SU-8光透镜的光学特性和制造工艺的结果,为研究非经典彩色滤光片设计的光学材料提供了重要的见解。 


江丽南、金京乔、弗雷西斯·雷宁格、塞巴斯蒂安、吉盖和斯坦利·波


美国光学学会杂志2020 

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