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Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

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Mai 29, 2012
Protonenstrahllithographie eine maskenlose Direktschreib-Lithographietechnik (gut geeignet für die Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen in einer Reihe von Widerstands- und Halbleitermaterialien) wird als effektives Werkzeug bei der Erstellung elektrisch leitfähiger freistehende Mikrostrukturen in einem Su 8 + Nano Silver Polymerverbundwerkstoff. a) 3 Dimensionale freistehende Auslegerstruktur, die durch 1,0 und 2,5MeV Protonenstrahlen auf einer 75Mikron dicken Schicht von...
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