Structures SU-8 suspendues pour canaux microfluidiques monolithiques

SU-8 photoresist est couramment utilisé dans le domaine de la microfabrication comme matériau structurel ou pour le moulage des dispositifs microfluidiques. Une limitation majeure, cependant, est la difficulté de traiter les structures PARTIELLEMENT autonomes SU-8 ou monolithiques cavités fermées et les canaux sur puce

Processus de fabrication d'une structure SU-8 suspendue pour un microcanal SU-8 fermé monolithique. une couche SU-8 standard est recouverte de spin sur une plaquette de silicium, suivie d'une cuisson molle, d'une exposition pour définir les parois du canal (masque 1) et d'un post-cuisson. b Une deuxième couche à l'aide d'un SU-8 à absorption élevée modifiée est recouverte de spin, cuite à pâte molle et exposée pour définir le toit du microcanal (masque 2).c L'exposition par le masque 1 est appliquée avant que le post-cuisson améliore l'adhérence entre les deux couches SU-8. d La double couche SU-8 est développée pour libérer le microcanal

Y. Moser – R. Forti – S. Jiguet – T. Lehnert – M. A. M. Gij

Nanofluid microfluide (2011) 10:219-224