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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Micro-structures debout en 3 dimensions par l'écriture de faisceau de protons de SU8 argent nanoParticle composite polymérique

La lithographie par faisceau de protons, une technique lithographique sans masque (bien adaptée à la production de microstructures tridimensionnelles dans une gamme de matériaux de résistance et de semi-conducteurs) est démontrée comme un outil efficace dans la création de micro-structures autoportantes dans un composite de polymère Su 8 et Nano Silver.

a) Structure en porte-à-faux autoportante dimensionnelle créée par des faisceaux de protons 1,0 et 2,5 MeV sur une couche de 75 microns d'épaisseur de 15 % de nanocomposite Ag/Su8. 4b) Structure des piliers d'essai créée par des faisceaux de protons de 2,5 MeV sur une couche de 75 microns d'épaisseur de 15 % Ag/Su8 nanocomposite

H. Igbenehu et S. Jiguet

Science et ingénierie des matériaux 40 (2012)012002, Date: 2012,