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Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

发布模型

15 5月 2019

描述 德拉出版 ici…

勒根德·伊图像,西尼翁·埃夫塞·德·德·德·德·埃文


莱利·巴图利、桑德拉·瓜达卢佩·马尔多纳多、莫谢·朱德莱维奇和斯特凡诺·米施勒


微型机器 2015, 6,611-621