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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Dispositifs microfluidiques polyimide et SU-8 fabriqués par technique de matériau sacrificiel dépolymérisable à la chaleur

L'article suivant décrit une méthode de couche sacrificielle pour la fabrication d'appareils microfluidiques en polyimide et SU-8. La technique utilise des polycarbonates dépolymérisables intégrés dans le polyimide ou le SU-8 pour la génération de microcanaux et de cavités scellées. Les produits volatils de décomposition provenant de la thermolyse du matériau sacrificiel s'échappent du matériau d'intégration par diffusion à travers la couche de couverture. Le processus de fabrication a été étudié expérimentalement et théoriquement en mettant l'accent sur la décomposition des matériaux sacrificiels et leur diffusion par la couche de couverture de polyimide ou SU-8. Il est démontré que le processus d'enlèvement des matériaux sacrificiels est indépendant de la géométrie réelle du canal et avance linéairement avec le temps contrairement aux techniques conventionnelles de couche sacrificielle. La méthode de fabrication fournit une technique polyvalente et rapide pour la fabrication d'appareils microfluidiques pour des applications dans le domaine de l'AsT et du Lab-on-a-Chip.

Metz, S ; Jiguet, S; Bertsch, A ; Renaud, P

LAB ON A CHIP, vol. 4, num. 2, 2004, p. 114-120

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